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產品名稱 : 晶圓清洗機 產品說明 : 晶圓清洗機設備功能簡述: 宏惠光電股份有限公司專業於半導體製程、量測相關設備,推出晶圓清洗機設備,設備含: 自動化機械手臂晶圓搬運系統、多槽式清洗設計、乾燥及吹氣裝置、及晶圓片自動裝卸分料,並提供客製化服務。