| 光學解析度 |
倍率 1X / 0.5 / 0.2X (擇一選擇) |
| 解析度2.5um/pixel @1X |
| 檢測速度 |
30 WPH @ 1X 6寸單面 |
| 燈源種類 |
自動 LED亮場+暗場 |
| 檢測瑕疵種類 |
1. 邊緣碰傷
2. 黑點
3. 白點
4. 印記
5. Chuck盤
6. 花紋
7. 髒汙
8. 劃傷.等異物瑕疵,以面積,長,寬,大小比率,特定灰度值,特定座標進行OK/NG判別 |
| 相機 |
2500萬圖元 |
| 最小點瑕疵尺寸 |
長寬≧2倍解析度 |
| 瑕疵最小對比度 |
需大於10個灰階差異 |
| 取片模式 |
邊緣夾取式, (不接觸晶圓) |
| 檢測方式 |
正/背面自動化檢測 |
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聯絡人: Andy Wen
電話: 03-4626569*2805
助理: Wendy *2822
Email: andy.wen@unice.com.tw
