Ocean Insight 接軌國際半導體大廠，推升蝕刻製程效率

半導體製造是一個複雜的過程，在各個方面都需要極度的精準，需要無污染的氣體和準確的氣體混合物、用於腔室等離子清潔的端點檢測，以及精確定時的沉積和蝕刻端點檢測，才能保持質量和最大限度地減少晶圓損失。

GlobalFoundries (GF) 為全球領先的半導體創新者提供設計、開發和製造服務。Ocean Insight 與格芯密切合作，解決與以前使用的重要反應離子蝕刻工藝相關的問題。管理這個“定時蝕刻”過程，用於確定晶圓暴露在腐蝕性生產氣體中的時間，依賴於單波長儀器的組合，所涉及的化學反應的可變速度知識，以及簡單的試驗和錯誤。這通常會導致產品的過度蝕刻和蝕刻不足，從而浪費昂貴的資源。

Ocean Insight 有別於傳統方法，協助 GlobalFoundries 搭配光學發射光譜 (OES) 和機器學習對過程進行精確、高速的監控，客戶可以一次快速準確地監測所有等離子體波長，並將我們的機器學習算法應用於測量數據，為過程控制增加另一個層次的洞察力，大幅提升蝕刻製程的品質 & 效率，從而生產出更高質量的半導體材料，以滿足電子和奈米技術的新用途。

格芯現在正在系統中安裝 Ocean Insight 光譜儀，並重寫其算法以監測多個等離子體發射光譜以精確停止蝕刻。潛在影響很大。例如，一個工程師可能負責 100 多個腔室，每個蝕刻運行需要 5-25 分鐘。即使是過程中的微小改進也可以簡化生產並顯著提高產品質量。