HASO EUV 波前感測器-超短波長光束的特性分析與對準

HASO EUV 波前感測器-超短波長光束的特性分析與對準

日期：2026/02/11

EUV 高次諧波產生 (High Harmonic Generation, HHG)

*圖為HASO EUV* (產品頁面)

在極紫外 (EUV) 高次諧波產生系統中，HASO EUV 波前感測器扮演關鍵角色。
它能協助研究人員進行超短波長光束的特性分析與對準，並提升整體系統效能。

我們提供的技術能夠：

  • 改善 HHG 系統效能
  • 在 紅外 (IR) 驅動光路中，透過波前校正優化焦點形狀
  • 在 極紫外 (EUV) 發射光路中，進行高精度、即時的波前與強度量測
  • 快速對準 EUV 光學元件，例如微聚焦系統
  • 高精度表徵複雜光場，例如高階光渦旋 (optical vortex)

技術特色

  • 同時獲取強度與相位資訊，可進行近場與遠場計算
  • 消色差波前感測：涵蓋多波段 (0.5–4 nm、4–40 nm、400–1100 nm、900–1700 nm)
  • 高動態、高穩定性可變形鏡：用於超強雷射波前校正
  • 先進量測與自適應光學軟體：支援 C/C++、LabView、Python SD

應用案例

 

1. IR 光束最佳化

紅外光的相位像差會轉移到所產生的極紫外 (EUV) 光束。因此，校正飛秒波前至關重要。

Imagine Optic 提供自適應光學系統，其中包括 HASO 波前感測器與 ILAO Star 可變形鏡，用於優化驅動光束；並提供 EUV 波前感測器，以便於進行相位表徵與光束整形。

 

2. 渦旋光束表徵

​​​​​​法國巴黎薩克雷大學的氣體與等離子體物理實驗室報告了紅外渦旋驅動光束，以及經由高次諧波產生 (HHG) 上轉換後的極紫外 (EUV) 渦旋的實驗表徵。

上方的影像顯示了由 HASO EUV 波前感測器取得的數據：左圖為原始 Hartmann 資料，中圖為遠場強度分布，右圖為重建的波前。

 

3. 寬頻高階諧波微聚焦

法國巴黎薩克雷大學的氣體與等離子體物理實驗室，報告了紅外渦旋驅動光束的實驗表徵，以及經由高次諧波產生 (HHG) 上轉換後的極紫外 (EUV) 渦旋。

上方的圖像展示了 HASO EUV 波前感測器所獲得的數據：左圖為原始 Hartmann 測量結果，中圖為遠場強度分布，右圖則為重建後的波前。

 

 

若您對 EUV 光束對準、鏡面優化或自適應光學有進一步需求，宏惠光電期待與你合作。

文章來源: https://www.imagine-optic.com/products/haso-euv-wavefront-sensor/

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