非接觸式厚度測量

樣本描述和目標

• 樣品為不同厚度間隙: 100μm; 50μm; 20μm; 10μm; 5μm; 2μm

• 傳感器與干涉式探頭一起使用。

干涉測量理論

使用與彩色法相同的白光源或寬紅外光源，干涉式探頭可以利用許多傳感器來測量薄層。當光照射到樣品中某個層的頂部和底部表面時，將返回一個干涉圖樣。通過對該信號進行傅立葉變換，可以以高達70 kHz的速率確定多個厚度。此測量技術可應用於濕或乾材料，以測量流體或膜的厚度，塗層甚至間隙或其他薄層。

測量

• 頻率：4kHz
• Time of a profile：0.6 sec
• 折射率：1

結論

干涉法非常適合這種測量，傳感器可非常精確地測量5μm甚至2μm的氣隙厚度。

若檢測品為Wafer，也可採用此方法做非接觸式的厚度檢測。