微米(μm)間隙測量

樣本描述和目標

• 樣品為6個不同間隙的標準片: 100μm; 50μm; 20μm; 10μm; 5μm; 2μm
• 主要針對2個較小的間隙測試量測能力
• 傳感器與干涉式探頭一起使用。
• 沿6個氣隙執行平移（圖片上為紅色）。

干涉測量理論

使用與彩色法相同的白光源或寬紅外光源，干涉式探頭可以利用許多傳感器來測量薄層。當光照射到樣品中某個層的頂部和底部表面時，將返回一個干涉圖樣。通過對該信號進行傅立葉變換，可以以高達70 kHz的速率確定多個厚度。此測量技術可應用於濕或乾材料，以測量流體或膜的厚度，塗層甚至間隙或其他薄層。

測量

• 頻率：4kHz
• 平移速度：10mm / sec
• 折射率：1

結論

• 干涉測量法非常適合這種測量，傳感器允許非常精確地測量5µm甚至2µm的氣隙厚度。
• 要求檢查空氣間隙大於3µm，結果是肯定的：可以檢查這種氣隙。

規格比較表