表面量測應用

表面量測應用

高解析度線白光共焦檢測儀

CHRomatic CLS 2 Pro 線白光共焦感測器是 Precitec 3D Metrology 最新的線感測器，提供高速、長線長度和高角度接受度的最佳組合。 CLS 2 Pro 是款多功能、高性能的主力檢測設備，設計用於與各種易於互換的探頭一起使用，以執行各種檢測任務。高達 36,000 線/秒的高速晶圓檢測或曲面深度檢測。此外，還可對所有表面進行測量，例如電池箔檢查（石墨/銅），線長可達 20 毫米。

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Battery foils 鈦箔厚度檢測方案

使用Precitec一對二Sensor 2 DPS，即可實現同時檢測光亮與粗糙黑併存之表面，並達到1um以內的穩定度。

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超高精度3D量測

針對wafer表面品質解測，使用顯微鏡探頭搭配奈米級穩定度平台，保持量測的準確度。

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高精度檢測平台

Keyence 白光干涉儀搭配 Aerotech 超高精度平台，可在高倍率的量測下提供奈米級的移動量與穩定度平台尺寸與移動行程可依照需求客製化打造，各大半導體廠持續導入中。

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