微米(μm)間隙測量
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微米(μm)間隙測量

樣本描述和目標

  • 樣品為6個不同間隙的標準片: 100μm; 50μm; 20μm; 10μm; 5μm; 2μm
  • 主要針對2個較小的間隙測試量測能力
  • 傳感器與干涉式探頭一起使用。
  • 沿6個氣隙執行平移(圖片上為紅色)。

Unice air gapUnice air gap

干涉測量理論

使用與彩色法相同的白光源或寬紅外光源,干涉式探頭可以利用許多傳感器來測量薄層。當光照射到樣品中某個層的頂部和底部表面時,將返回一個干涉圖樣。通過對該信號進行傅立葉變換,可以以高達70 kHz的速率確定多個厚度。此測量技術可應用於濕或乾材料,以測量流體或膜的厚度,塗層甚至間隙或其他薄層。

Unice Theory

測量

  • 頻率:4kHz
  • 平移速度:10mm / sec
  • 折射率:1

Unice Thickness measurement

結論

  • 干涉測量法非常適合這種測量,傳感器允許非常精確地測量5µm甚至2µm的氣隙厚度。
  • 要求檢查空氣間隙大於3µm,結果是肯定的:可以檢查這種氣隙

 

規格比較表

Unice spec comparison