微米(μm)鍍膜測量
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微米(μm)鍍膜測量

樣本描述和目標

  • 樣品為不同厚度Coating: 3μm; 2.5μm; 2μm; 1.7μm; 1.5μm; 1.2μm; 1μm
  • 傳感器與干涉式探頭一起使用。

微米(μm)鍍膜測量

微米(μm)鍍膜測量

干涉測量理論

使用與彩色法相同的白光源或寬紅外光源,干涉式探頭可以利用許多傳感器來測量薄層。當光照射到樣品中某個層的頂部和底部表面時,將返回一個干涉圖樣。通過對該信號進行傅立葉變換,可以以高達70 kHz的速率確定多個厚度。此測量技術可應用於濕或乾材料,以測量流體或膜的厚度,塗層甚至間隙或其他薄層。

微米(μm)鍍膜測量

測量

  • 頻率:4kHz
  • 面積:60*1mm
  • Time of a profile:0.6 sec
  • 折射率:1.5

微米(μm)鍍膜測量

微米(μm)鍍膜測量

結論

干涉測量法非常適合這種測量,傳感器允許非常精確地測量3µm以下甚至0.7µm的鍍膜厚度。